電子廠凈化工程|潔凈室解決方案
電子廠凈化工程定義為將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給于特別設(shè)計之密閉空間。
電子廠凈化工程亦名無塵室或潔凈室,目前已是半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、線路板制造和生物化學、醫(yī)藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來,由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展,對于產(chǎn)品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為世界各國在科技發(fā)展上極為重視的項目,而我公司的設(shè)計理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于領(lǐng)先地位。
電子廠凈化工程一般包括:
1、潔凈生產(chǎn)區(qū)
2、潔凈輔助間(包括人員潔凈室、物料潔凈室和部分生活用室等)
3、管理區(qū)(包括辦公、值班、管理和休息等)
4、設(shè)備區(qū)(包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房)
電子廠凈化工程凈化原理
氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風機送風→管道→高效凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆?!仫L百葉窗→初效凈化重復以上過程,即可達到凈化目的。
電子廠凈化工程凈化參數(shù)
換氣次數(shù):100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥35次。壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa平均風速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度冬季>16℃;夏季<26℃;波動±2℃。
溫度45-65%;電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。
噪聲≤65dB(A);新風補充量是總送風量的10%-30%;照度300LX。
車間1
車間2
濺射間
刻蝕間